原位薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)(kSA MOS Film Stress Measurement System)：采用非接觸激光MOS技術(shù)，不但可以對樣品表面應(yīng)力分布進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，而且還可以進(jìn)行樣品表面二維應(yīng)力、曲率成像分析。您可自行定義選擇使用任意一個或者一組激光點(diǎn)進(jìn)行測量，并且這種設(shè)計(jì)始終保持所有陣列的激光光點(diǎn)始終在同一頻率運(yùn)動或掃描，從而有效的避免了外界振動對測試結(jié)果的影響，同時提高了測試的分辨率，適合各種材質(zhì)和厚度薄膜應(yīng)力分析。
典型用戶：Harvard University 2套，Stanford University，Johns Hopkins University，Brown University 2套，Karlsruhe Research Center,Max Planck Institute，西安交通大學(xué)，中國計(jì)量科學(xué)院等、半導(dǎo)體和微電子制造商（如IBM.，Seagate Research Center,Phillips Semiconductor,NEC，Nissan ARC,Nichia Glass Corporation）等；
相關(guān)產(chǎn)品
薄膜應(yīng)力儀（kSA MOS 薄膜應(yīng)力測量儀）：為獨(dú)立測量系統(tǒng)，同樣采用多光束MOS技術(shù)，詳細(xì)信息請與我們聯(lián)系。
設(shè)備名稱
原位薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)，原位薄膜應(yīng)力測試儀，原位薄膜應(yīng)力計(jì)，薄膜應(yīng)力儀，kSA MOS Film Stress Tester, kSA MOS Film Stress Measurement System;
主要特點(diǎn)
? 自主**技術(shù)：MOS 多光束傳感器技術(shù)（**號：US 7,391,523 B1）；
? 單 Port(樣品正上方)和雙 Port(對稱窗口)系統(tǒng)設(shè)計(jì)；
? 適合 MOCVD, MBE, Sputter，PLD、蒸發(fā)系統(tǒng)等各種真空薄膜沉積系統(tǒng)以及熱處理設(shè)備等，也可將設(shè)備搭建在光學(xué)平臺上，用于監(jiān)測電極材料反應(yīng)過程中的曲率/應(yīng)力變化情況；
? 薄膜應(yīng)力各向異性測試和分析功能；
? 實(shí)時光學(xué)反饋控制技術(shù)，系統(tǒng)安裝時可設(shè)置多個測試點(diǎn)；
? 免除了測量不受真空系統(tǒng)振動影響；
? 理想環(huán)境下曲率半徑分辨率 20km（依賴于腔體設(shè)計(jì)）;
? 應(yīng)力測量范圍幾十 kPa~100Gpa；
? 多基片測量功能；（選件）
? 光學(xué)常數(shù) n&k 測量；（選件）
? 基片旋轉(zhuǎn)追蹤測量功能；（選件）
? 生長速率和薄膜厚度測量。（選件）
測試功能
? 薄膜生長過程中，實(shí)時、原位薄膜曲率-時間/膜厚度曲線；實(shí)時、原位薄膜應(yīng)力-時間/膜厚度曲線；
? 鋰電池/燃料電池等電極材料在電解液中反應(yīng)時，實(shí)時、原位薄膜曲率-時間/膜厚度變化曲線；實(shí)時、原位薄膜應(yīng)力-時間/膜厚度曲線。
基本配置
? 12位單色CCD檢測系統(tǒng)：分辨率 1360(H) x 1024(V), 6.45μm x 6.45μm pixel size；；曝光時間可控10 μs to 77.3 s sec
? 激光和光學(xué)系統(tǒng)：激光波長660nm(可定制其他波長激光器)，激光功率>70mW，恒電流運(yùn)行模式，穩(wěn)定性≤0.2%（8小時）；帶溫控的激光控制器（出廠設(shè)定溫度25°C），溫度穩(wěn)定性<0.2°C；
? 自動光學(xué)追蹤系統(tǒng)：當(dāng)進(jìn)行樣品測試時，用來追蹤伺服系統(tǒng)而檢測來自樣品表面反射光；
? 計(jì)算機(jī)、MOS數(shù)據(jù)采集和系統(tǒng)控制電路板；
? 測量分析軟件：數(shù)據(jù)采集，系統(tǒng)控制，自動激光光點(diǎn)檢測，實(shí)時曲率、曲率半徑、應(yīng)力強(qiáng)度、應(yīng)力數(shù)據(jù)采集和圖像顯示，分析功能多測試曲線對比分析、統(tǒng)計(jì)分析等，便捷的2D圖像顯示和調(diào)整功能，數(shù)據(jù)ASCII輸出。
實(shí)際應(yīng)用
