別名：弱吸收測量儀，強激光材料性能測試儀，高功率激光薄膜光熱弱吸收測量儀，光學薄膜微弱吸收測量儀，光學材料光熱效應測量儀

主要特點：

        光熱效應測量

        激光誘導波前形變測量（Hartmann‐Shack）傳感器

        測量分辨率<10pm (~ λ/10,000)

        實時吸收測量：ppm級靈敏度

        激光波長：≤193nm~>1000nm

                   (Hard x-rays, EUV 13.5nm,193nm, 248nm, 308nm, 351nm,

                    532nm, 355nm,1064nm,1070nm etc.)

Relaxation of wavefront deformation after heating pulse

Thermal lens in fused silica @193nm

主要應用：

        光學材料測試（EUV、DUV光學器件等，高功率紫外/深紫外/極紫外光學器件等）

        熱透鏡效應分析

        波前形變分析

        復雜光學瞬態畸變（如：F‐Theta平場聚焦鏡頭）

        質量控制

        高功率激光器（固體激光器、準分子激光器、CO2激光器等）

光束測試軟件

測試基于ISO標準